簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "楊振雄".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="無光罩微影"


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    以數位微影定義非平面圖案之開發
    • 自動化及控制研究所 /105/ 碩士
    • 研究生： 高貫軒   指導教授： 郭鴻飛
    • 曝光微影技術是印刷電路板(printed circuit board, PCB)製程中的重要技術之一，近年來製程中對精密度要求不斷提高，並要求更高解析度更小的線寬，使得傳統接觸印刷製程之缺點越來越明…
    • 點閱：1771  下載：10 

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    點陣列式微影系統中光學模組與動態掃描曝光模式之設計開發
    • 自動化及控制研究所 /103/ 碩士
    • 研究生： 黃一峻   指導教授： 郭鴻飛
    • 傳統的印刷電路板(printed circuit board, PCB)微影製程中，主要以具有光罩的鄰近式(proximity)或接觸式(contact)的曝光方式在光阻上進行曝光製程。然而，製作光…
    • 點閱：549  下載：56 

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    半導體雷射直寫式微影系統設計與分析
    • 自動化及控制研究所 /106/ 碩士
    • 研究生： 朱良修   指導教授： 郭鴻飛
    • 雷射直寫技術之於黃光微影製程的優勢是無需光罩，而以雷射光束聚焦在光阻上直接定義電路圖案，對此一個基於雙軸振鏡的雷射掃描系統，能夠將數十微米的聚焦光點快速定位在曝光面的任意處，不過掃描過程中存在像場變…
    • 點閱：470  下載：0 
    • 全文公開日期 2023/06/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)
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